| 主权项 |
1.一种载台装置,系针对其可动部系被构成至少在石制平台上可以往X轴、Y轴的至少其中一方的方向移动之形态的载台装置,其特征为:将前述石制平台的尺寸作成对应前述可动部的移动区域之尺寸,并将该石制平台固定于具有承接部之铸铁制的铸造物或是由钢构造物所构成的底座上。2.如申请专利范围第1项所述的载台装置,其中前述底座,在其中央部具有前述承接部;在其两侧,则具有相互平行地往X轴、Y轴的其中一方的方向延伸之二个导引构件设置部;在这二个导引构件设置部,设置分别互相平行地延伸的导引构件,且这二根导引构件,分别具备可以沿着该导引构件移动的第1移动体,并利用往X轴、Y轴的另一方的方向延伸的梁,连结这二个第1移动体之间;且藉由该梁具有可以沿着该梁移动的第2移动体,该第2移动体作为前述可动部,系被作成可以在前述石制平台上往前述X轴方向和Y轴方向移动。3.如申请专利范围第2项所述的载台装置,其中介于前述第1移动体和前述导引构件之间的至少一个的静压轴承衬垫,被设置于前述第1移动体;而且,介于前述第1移动体和前述石制平台之间的静压轴承衬垫,被设置于前述第1移动体;而介于前述第2移动体和前述梁之间的至少一个的静压轴承衬垫,被设置于前述第2移动体;而且,介于前述第2移动体和前述石制平台之间的复数个静压轴承衬垫,被设置于前述第2移动体。4.如申请专利范围第1项所述的载台装置,其中前述底座,在其中央部具有前述承接部;在其两侧,则具有相互平行地往X轴、Y轴的其中一方的方向延伸之二个导引构件设置部;在这二个导引构件设置部,设置分别互相平行地延伸的导引构件,且具备可以沿着这二根导引构件移动的移动体,该移动体作为前述可动部,系被作成可以往前述X轴、Y轴的其中一方的方向移动。5.如申请专利范围第4项所述的载台装置,其中介于前述移动体和前述导引构件之间的至少一个静压轴承衬垫,被设置于前述移动体。6.如申请专利范围第4项或第5项所述的载台装置,其中被处理基板被置于前述石制平台上,在前述移动体,承载用来对该被处理基板进行检查或加工的检查机器或加工机器。图式简单说明:第1图系表示将本发明应用在表面型定位载台装置中的第1实施形态的图;第1图(a)系俯视图、第1图(b)系侧视图。第2图系表示将本发明应用在检查用载台装置中的第2实施形态的图;第2图(a)系俯视图、第2图(b)系侧视图。第3图系表示习知的表面型定位载台装置的一例之图;第3图(a)系俯视图、第3图(b)系侧视图。 |
