| 摘要 |
本发明提供一种侦测晶圆缺陷的装置及其方法。光学部件设置于检测平台下方及将光发射至放置于检测平台的检测区的晶圆上，该检测区由穿透性材料形成。影像获取部件对穿过置于检测平台的晶圆的红外光进行侦测以输出影像信号。影像获取部件包括具有照相区的线感测器，传送部件沿线感测器的照相区的短边方向传送影像获取部件或检测平台，并输出具有预定周期的脉冲信号，其中预定周期与影像获取部件及检测平台之间的相对直线移动距离相对应。控制器计算所述脉冲信号，且只要所述晶圆被沿着线感测器照相区的短边方向向影像获取部件传送相当于此照相区短边长阶的距离，即输出照相指令信号以控制影像获取部件对晶圆进行照相。缺陷侦测部件结合影像信号以产生对应晶圆的检测影像，及侦测晶圆缺陷存在的位置。当照相指令信号被输入时，每一线感测器将自身累积的电荷传送给相邻的线感测器，然后侦测穿过晶圆的红外光。从照相指令信号输入的次数超过线感测器的数目时起，设置于与传送方向相反的末端的线感测器输出自身累积的电荷做为影像信号。 |
