| 发明名称 |
使用雷文生(Levenson)型光罩之图案形成方法及雷文生(Levenson)型光罩之制造方法 |
| 摘要 |
本发明的图案形成方法系包含有：具第1最小尺寸(Dmin1)的第1图案部(10a)、与具第2最小尺寸(Dmin2)的第2图案部(10b)之图案形成方法，包括有：使用雷文生型光罩施行曝光的第1曝光步骤、与使用半色调型光罩施行曝光的第2曝光步骤。当第2最小尺寸(Dmin2)达第1最小尺寸(Dmin1)的1.3倍以上时，便以第2曝光步骤的曝光量成为第1曝光步骤之曝光量以下的方式实施。 |
| 申请公布号 |
TW200733192 |
申请公布日期 |
2007.09.01 |
| 申请号 |
TW095144917 |
申请日期 |
2006.12.04 |
| 申请人 |
瑞萨科技股份有限公司 |
发明人 |
奥野满;茂庭明美 |
| 分类号 |
H01L21/027(2006.01);G03F1/14(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/027(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
赖经臣 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 |
