| 发明名称 | 基板的结构及其形成方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基板的结构及其形成方法，上述基板的结构包括：一基板，该基板为单晶结构；一缓冲层，磊晶成长于该基板上；一氧化镓锌层，磊晶成长于该缓冲层上。 | ||
| 申请公布号 | TW200814150 | 申请公布日期 | 2008.03.16 |
| 申请号 | TW095133453 | 申请日期 | 2006.09.11 |
| 申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 林延儒;蔡松雨 |
| 分类号 | H01L21/203(2006.01) | 主分类号 | H01L21/203(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | 洪澄文;颜锦顺 | |
| 主权项 | |||
| 地址 | 新竹县竹东镇中兴路4段195号 | ||