发明名称 PROCEDE DE COLLAGE DE PUCES SUR UN SUBSTRAT DE CONTRAINTE ET PROCEDE DE MISE SOUS CONTRAINTE D'UN CIRCUIT DE LECTURE SEMI-CONDUCTEUR
摘要 L'invention concerne un procédé de collage collectif de puces individuelles sur un substrat de contrainte (44), qui comprend les étapes suivantes :- on dispose des couches fonctionnalisées (40) sur un support (41), de manière adjacente non contiguë, avec un espacement e entre deux couches (40) voisines,- on dépose une goutte de colle calibrée (43) sur chacune de ces couches fonctionnalisées,- on reporte le substrat de contrainte (44) sur ces gouttes de colle,- on singularise des parties de l'ensemble ainsi formé pour réaliser des puces (45) collées à la surface du substrat de contrainte.L'invention concerne également un procédé de mise sous contrainte d'un circuit de lecture semiconducteur par un substrat en un matériau de coefficient de dilatation différent.
申请公布号 FR2921201(A1) 申请公布日期 2009.03.20
申请号 FR20070057676 申请日期 2007.09.19
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT PUBLIC A CARACTERE INDUSTRIEL ET COMMERCIAL 发明人 FENDLER MANUEL;AIT MANI ABDENACER;GUEUGNOT ALAIN;MARION FRANCOIS
分类号 H01L21/58;B81C99/00;H01L27/146 主分类号 H01L21/58
代理机构 代理人
主权项
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