发明名称 |
PROCEDE DE COLLAGE DE PUCES SUR UN SUBSTRAT DE CONTRAINTE ET PROCEDE DE MISE SOUS CONTRAINTE D'UN CIRCUIT DE LECTURE SEMI-CONDUCTEUR |
摘要 |
L'invention concerne un procédé de collage collectif de puces individuelles sur un substrat de contrainte (44), qui comprend les étapes suivantes :- on dispose des couches fonctionnalisées (40) sur un support (41), de manière adjacente non contiguë, avec un espacement e entre deux couches (40) voisines,- on dépose une goutte de colle calibrée (43) sur chacune de ces couches fonctionnalisées,- on reporte le substrat de contrainte (44) sur ces gouttes de colle,- on singularise des parties de l'ensemble ainsi formé pour réaliser des puces (45) collées à la surface du substrat de contrainte.L'invention concerne également un procédé de mise sous contrainte d'un circuit de lecture semiconducteur par un substrat en un matériau de coefficient de dilatation différent. |
申请公布号 |
FR2921201(A1) |
申请公布日期 |
2009.03.20 |
申请号 |
FR20070057676 |
申请日期 |
2007.09.19 |
申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT PUBLIC A CARACTERE INDUSTRIEL ET COMMERCIAL |
发明人 |
FENDLER MANUEL;AIT MANI ABDENACER;GUEUGNOT ALAIN;MARION FRANCOIS |
分类号 |
H01L21/58;B81C99/00;H01L27/146 |
主分类号 |
H01L21/58 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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