| 摘要 |
본 발명은 유기물질을 진공 열 증착하여 유기박막을 형성하기 위한 장치에서 사용하는 소스의 구조에 관한 것이다. 본 발명에 의한 유기박막 진공 열 증착장치는 유기물질을 담을 수 있는 그릇 형상의 도가니와; 상기 도가니의 상부에 장착된 노즐과; 상기 노즐 상부에 일정 거리를 두고 이격되어 설치되고, 그 이격 거리를 가변적으로 조정할 수 있는 분사판을 포함한다. 본 발명에 따른 유기박막 진공 열 증착 장치에서는 다양한 운영 조건에서 가변적으로 조절이 가능한 노즐을 구비하므로, 증착율 및 유기물의 특성에 따라 증착 균일도를 조절하는 것이 가능하다. |
