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로타리 분배 장치는 정지된, 원통형 내측 코어(27), 및 상기 내측 코어(27)를 중심으로 배치된 회전 가능한, 원통형 외측 쉘(25)을 포함하며, 상기 외측 쉘(25)은 이들 사이의 복수의 환형 유체 분배 챔버들을 한정한다. 상기 로타리 분배 장치는 이를 통과해 제공된 복수의 유동 통로들을 가지는 회전 가능한 인덱싱 디스크(23)로서, 이의 연결 포트들은 상기 외측 쉘(25)에 있는 포트들과 유동 소통되는 상기 회전 가능한 인덱싱 디스크(23); 및 이를 통과해 제공된 복수의 유동 통로들을 가지는 정지된 인덱싱 디스크(22)로서, 이의 연결 포트들은 적절한 공정 용기들과 유체 소통되는 상기 정지된 인덱싱 디스크(22)를 추가로 포함한다. 상기 로타리 분배 장치는: 상기 정지된 코어(27)가 고정된 정지된 샤프트(28); 및 상기 정지된 샤프트(28)를 중심으로 회전 가능한 회전 가능한 슬리브(24)를 포함하는 구동장치를 포함하며, 상기 회전 가능한 슬리브(24)는 상기 회전 가능한 외측 쉘(25) 및 상기 회전 가능한 인덱싱 디스크(23)를 구동한다. |
