| 摘要 |
Le dispositif microélectromécanique ou nanoélectromécanique (1) comorte une membrane (3), qui est mobile en translation le long d'au moins un premier axe de translation (XX') sensiblement parallèle au substrat (2), et dans au moins une première direction (X1) le long de ce premier axe de translation (XX'). La face inférieure (3a) de la membrane (3) comporte d'une part une partie active (31), qui est positionnée au droit d'une électrode d'actionnement (5) sous-jacente, et dont la zone d'actionnement électrostatique (31a) la plus proche de l'électrode d'actionnement (5) est située dans un premier plan de référence (P1) lorsque la membrane n'est pas actionnée, et d'autre part au moins un décrochement (30), qui s'étend en direction du substrat jusqu'à un deuxième plan (P2) plus proche de électrode d'actionnement (5) que ledit plan de référence (P1). Pour au moins une partie des positions en translation de la membrane (3), ledit décrochement (30) comporte au moins une première portion (30a) qui n'est pas positionnée au droit de l'électrode d'actionnement (5) et qui est proche d'au moins une première portion (50a) de la tranche (50) de l'électrode d'actionnement (5). Le dispositif comporte (a) (figure 2) une couche diélectrique (7), qui recouvre au moins ladite première portion (50a) de tranche (50) de l'électrode d'actionnement (5), et/ou (b) (figure 22) une couche diélectrique, qui recouvre la face inférieure (3a) de la membrane (3) au moins dans une zone correspondant à ladite première portion (30a) du décrochement (30). |
