| 摘要 |
진공 챔버에서의 스퍼터 증착을 위한 스퍼터 증착 소스가 설명된다. 소스는, 진공 챔버의 벽 부분; 스퍼터 증착 동안에 증착될 재료를 제공하는 타겟; 타겟에 RF 전력을 제공하기 위한 RF 전력 공급부; RF 전력 공급부와 타겟을 연결시키기 위한 전력 커넥터; 및 진공 챔버의 내부로부터 진공 챔버의 외부로 벽 부분을 통해 연장되는 전도체 로드를 포함하며, 전도체 로드는 진공 챔버의 내부에서 하나 또는 그 초과의 컴포넌트들에 연결되고, 전도체 로드는 진공 챔버의 외부에서 RF 전력 공급부에 연결되어, 전도체 로드를 통하는 정의된 RF 리턴 경로를 생성한다. |
