SOLID-STATE IMAGING DEVICE METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME AND ELECTRONIC APPARATUS

摘要

화소를 포함하는 고체 촬상 장치에 있어서, 상기 화소는, 기판 내부에 형성된 매입형 포토 다이오드와; 상기 기판에 형성된 트렌치부 저부에 면하는 기판 내로서, 상기 매입형 포토 다이오드와 동등한 깊이에 형성된 매입형 플로팅 디퓨전과; 상기 매입형 포토 다이오드로부터 상기 매입형 플로팅 디퓨전에 신호 전하를 전송하기 위해, 상기 트렌치부 내의 저부에 형성된 매입형 게이트 전극으로 구성된다.