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发明名称 Verfahren zum Praeparieren von Halbleiterbau-elementen
摘要
申请公布号 DE1194987(B) 申请公布日期 1965.06.16
申请号 DE1961S076146 申请日期 1961.10.04
申请人 SIEMENS & HALSKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 GRASSER DIPL.-PHYS. LEO
分类号 H01L21/00;H01L23/31 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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