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发明名称 Verfahren zum Herstellen von gleichzeitig mehreren Halbleiterbauelementen
摘要
申请公布号 CH414865(A) 申请公布日期 1966.06.15
申请号 CH19600009712 申请日期 1960.08.29
申请人 WESTINGHOUSE ELECTRIC CORPORATION 发明人 F. JOHN,HAROLD;W.,JR. FAUST,JOHN
分类号 C23C18/16;C23C18/18;C25D5/34;C25D7/12;H01L21/00;H01L21/288 主分类号 C23C18/16
代理机构 代理人
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