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发明名称
Edge passivation
摘要
申请公布号
US3288637(A)
申请公布日期
1966.11.29
申请号
US19620205945
申请日期
1962.06.28
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
AMES IRVING
分类号
C23C14/04;C23C14/58;C23F1/02;G11C11/44;H01B1/00;H01L39/00;H01L39/18;H01L39/24
主分类号
C23C14/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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