发明名称
摘要
申请公布号 NL6906275(A) 申请公布日期 1969.12.09
申请号 NL19690006275 申请日期 1969.04.23
申请人 发明人
分类号 C30B25/10;C23C16/54;H01L21/205;(IPC1-7):B01J17/32 主分类号 C30B25/10
代理机构 代理人
主权项
地址