| 发明名称 |
Verfahren zur Messung und UEberwachung von Grenzflaechenwiderstaenden bei der Herstellung integrierter Halbleiteranordnungen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1589952(A1) |
申请公布日期 |
1970.05.14 |
| 申请号 |
DE19671589952 |
申请日期 |
1967.05.30 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
ANTHONY TOTTA,PAUL |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L23/29;H01L23/522 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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