发明名称 |
MAGNETIC FILTER SYSTEM LOW LOSS SCANNING TYPE ELECTRON MICROSCOPE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03182039(A) |
申请公布日期 |
1991.08.08 |
申请号 |
JP19900298746 |
申请日期 |
1990.11.02 |
申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
ROTSUDONII TOREBUAA HADOSON;FURANSOWAAZU KORUMAARU RUGUU;ORIBUAA KUREIGU UERUSU |
分类号 |
H01J37/20;H01J37/14;H01J37/244;H01J37/256;H01J37/28 |
主分类号 |
H01J37/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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