发明名称 MAGNETIC FILTER SYSTEM LOW LOSS SCANNING TYPE ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH03182039(A) 申请公布日期 1991.08.08
申请号 JP19900298746 申请日期 1990.11.02
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 ROTSUDONII TOREBUAA HADOSON;FURANSOWAAZU KORUMAARU RUGUU;ORIBUAA KUREIGU UERUSU
分类号 H01J37/20;H01J37/14;H01J37/244;H01J37/256;H01J37/28 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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