发明名称 APPARATUS FOR MANIPULATING ARTICLES IN A VAPOR STREAM TO ACHIEVE UNIFORM DEPOSITION LAYER
摘要
申请公布号 US3534707(A) 申请公布日期 1970.10.20
申请号 USD3534707 申请日期 1969.02.27
申请人 AMERICAN MICRO SYSTEMS INC. 发明人 GRANT COOH RIDDLE
分类号 C23C14/50;(IPC1-7):C23C11/00 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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