发明名称 |
APPARATUS FOR MANIPULATING ARTICLES IN A VAPOR STREAM TO ACHIEVE UNIFORM DEPOSITION LAYER |
摘要 |
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申请公布号 |
US3534707(A) |
申请公布日期 |
1970.10.20 |
申请号 |
USD3534707 |
申请日期 |
1969.02.27 |
申请人 |
AMERICAN MICRO SYSTEMS INC. |
发明人 |
GRANT COOH RIDDLE |
分类号 |
C23C14/50;(IPC1-7):C23C11/00 |
主分类号 |
C23C14/50 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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