发明名称 HOT VAPOR ETCHING OF SILICON FILAMENTS FOR IMPROVED SINGLE CRYSTAL DEPOSITION
摘要
申请公布号 CA862698(A) 申请公布日期 1971.02.02
申请号 CAD862698 申请日期
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 GUY W. TAYLOR
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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