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经营范围
发明名称
Verfahren zum Polieren von Halbleiteroberflächen
摘要
申请公布号
CH505466(A)
申请公布日期
1971.03.31
申请号
CH19690005569
申请日期
1969.04.11
申请人
WACKER-CHEMIE GMBH
发明人
DECKERT,HELMUT,DR.;JACOB,HERBERT,DR.
分类号
H01L21/306;(IPC1-7):H01L7/00;B24B29/00
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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