发明名称 Verfahren zum Polieren von Halbleiteroberflächen
摘要
申请公布号 CH505466(A) 申请公布日期 1971.03.31
申请号 CH19690005569 申请日期 1969.04.11
申请人 WACKER-CHEMIE GMBH 发明人 DECKERT,HELMUT,DR.;JACOB,HERBERT,DR.
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L7/00;B24B29/00 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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