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发明名称 POLISHING MACHINE
摘要
申请公布号 US3603042(A) 申请公布日期 1971.09.07
申请号 USD3603042 申请日期 1967.09.20
申请人 SPEEDFAM CORP. 发明人 STEPHEN A. BOETTCHER
分类号 B24B37/04;B24B55/02;(IPC1-7):B24B5/00 主分类号 B24B37/04
代理机构 代理人
主权项
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