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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERANORDNUNG
摘要
申请公布号 DE1764908(B2) 申请公布日期 1972.03.30
申请号 DE19681764908 申请日期 1968.08.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/00;H01L23/485;(IPC1-7):01L7/02 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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