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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5234346(B2)
申请公布日期
1977.09.02
申请号
JP19730096283
申请日期
1973.08.29
申请人
发明人
分类号
G11B5/17;G11B5/31;H01L21/22;H01L21/3063;H01L31/10
主分类号
G11B5/17
代理机构
代理人
主权项
地址
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