发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5435685(A) 申请公布日期 1979.03.15
申请号 JP19770102296 申请日期 1977.08.25
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 FUKUNAGA SHINOBU;YASUOKA MASAHIKO
分类号 H01L29/78;H01L21/22;H01L21/8238;H01L21/86;H01L27/092;H01L27/12;H01L29/06;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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