发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5435685(A) |
申请公布日期 |
1979.03.15 |
申请号 |
JP19770102296 |
申请日期 |
1977.08.25 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
FUKUNAGA SHINOBU;YASUOKA MASAHIKO |
分类号 |
H01L29/78;H01L21/22;H01L21/8238;H01L21/86;H01L27/092;H01L27/12;H01L29/06;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L29/78 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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