发明名称 COMPOSITION FOR CHEMICAL AND MECHANICAL POLISHING OF SEMICONDUCTOR MATERIALS
摘要
申请公布号 SU654662(A1) 申请公布日期 1979.03.30
申请号 SU19772512319 申请日期 1977.07.25
申请人 INST FIZICHESKOJ KHIMII;INST POLUPROVODNIKOV IM. L.V. PISARZHEVSKOGO AN UK SSR 发明人 GUBA GALINA YA,SU;OGENKO VLADIMIR M,SU;VOROBKALO LIDIYA N,SU;TERTYKH VALENTIN A,SU;CHUJKO ALEKSEJ A,SU;MALYUTENKO VLADIMIR K,SU;GORYUK STEPAN V,SU;KHABER NIKOLAJ V,SU
分类号 C09G1/02;(IPC1-7):C09G1/02 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人
主权项
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