发明名称 POWER SHORT CIRCUIT INSPECTING METHOD FOR SEMICONDUCTOR CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH04109177(A) 申请公布日期 1992.04.10
申请号 JP19900225037 申请日期 1990.08.29
申请人 HITACHI LTD 发明人 MIZUUCHI YASUJI;SONEHARA HIROKAZU
分类号 G01R31/02 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人
主权项
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