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发明名称
摘要
申请公布号
JPH066510(Y2)
申请公布日期
1994.02.16
申请号
JP19870115766U
申请日期
1987.07.27
申请人
发明人
分类号
H01L21/68;H01L21/78;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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