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发明名称 DEVELOPING METHOD FOR PHOTORESIST FILM
摘要
申请公布号 JPH0661135(A) 申请公布日期 1994.03.04
申请号 JP19920207669 申请日期 1992.08.04
申请人 NEC CORP 发明人 ITANI TOSHIRO
分类号 H01L21/30;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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