| 发明名称 |
FORMATION OF THIN GOLD FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07257996(A) |
申请公布日期 |
1995.10.09 |
| 申请号 |
JP19940047007 |
申请日期 |
1994.03.17 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
MORIKAWA YUUKO;IKEDA TSUTOMU;MATSUDA HIROSHI |
| 分类号 |
C30B7/14;C23C18/00;C30B29/02;H01L21/208;(IPC1-7):C30B29/02 |
主分类号 |
C30B7/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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