发明名称 Interferometric distance measuring apparatus.
摘要
申请公布号 EP0646767(A3) 申请公布日期 1996.01.03
申请号 EP19940307153 申请日期 1994.09.29
申请人 RENISHAW PLC 发明人 CHANEY, RAYMOND JOHN
分类号 G01B9/02;G01B11/00;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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