| 发明名称 |
MOUNT STAGE AND DEPRESSURIZING TREATMENT APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08107071(A) |
申请公布日期 |
1996.04.23 |
| 申请号 |
JP19940169956 |
申请日期 |
1994.06.28 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON TOHOKU LTD;SHIN ETSU CHEM CO LTD |
发明人 |
YAGI HIRONORI;ARAMI JIYUNICHI;DEGUCHI YOICHI;KAWADA ATSUO;YANAGISAWA ISAO |
| 分类号 |
C23C14/50;C23C16/44;C23C16/458;C23C16/46;C23C16/52;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C14/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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