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发明名称 EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08330212(A) 申请公布日期 1996.12.13
申请号 JP19950133789 申请日期 1995.05.31
申请人 NIKON CORP 发明人 TANITSU OSAMU
分类号 G03F7/20;G03F9/02;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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