| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08330226(A) |
申请公布日期 |
1996.12.13 |
| 申请号 |
JP19950158644 |
申请日期 |
1995.05.31 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
YAMAZAKI SHUNPEI;TERAMOTO SATOSHI |
| 分类号 |
H05H1/46;C23C16/24;C23C16/50;C23C16/56;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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