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发明名称
摘要
申请公布号 JP2795792(B2) 申请公布日期 1998.09.10
申请号 JP19930158521 申请日期 1993.06.29
申请人 DAINIPPON INSATSU KK;MITOMO ENJINIARINGU KK 发明人 BABA SUSUMU;KISHI MITSUNORI;YUGUCHI NORYUKI;HAYASHI TAKUYA;OOMORI TERUO;KURACHI SHOGO;MATSUSHITA TETSUO
分类号 B65G47/90;B65G47/248;C25D17/06;H01L21/50;H01L23/50;(IPC1-7):H01L23/50 主分类号 B65G47/90
代理机构 代理人
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