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发明名称
摘要
申请公布号 JP2795627(B2) 申请公布日期 1998.09.10
申请号 JP19950246333 申请日期 1995.09.25
申请人 MATSUSHITA DENKI SANGYO KK 发明人 CHINO TOYOJI;MATSUDA KENICHI;YOSHIDA TAKAYUKI;HATADA KENZO
分类号 H01L27/15;H01S5/00;H01S5/026;H01S5/042;H01S5/323;(IPC1-7):H01S3/18 主分类号 H01L27/15
代理机构 代理人
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