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发明名称 PLASMA-PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10340887(A) 申请公布日期 1998.12.22
申请号 JP19970165229 申请日期 1997.06.06
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 HAMA KIICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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