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发明名称 FORMING ALIGNMENT KEY PATTERN IN SEMICONDUCTOR APPARATUS
摘要
申请公布号 KR0165353(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19950049698 申请日期 1995.12.14
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, JUNG-YEUB;KIM, MIN-JUNG;BOO, JAE-PIL;JUNG, INN-KWAN;BAE, YONG-KOOK;YE, JUNG-HO
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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