| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR INSPECTING SURFACE DEFECT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11248641(A) |
申请公布日期 |
1999.09.17 |
| 申请号 |
JP19980051069 |
申请日期 |
1998.03.03 |
| 申请人 |
SUMITOMO METAL IND LTD |
发明人 |
HARUNA KAZUYUKI;KISHI KAZUHIKO |
| 分类号 |
G01N21/89;G01N21/892;(IPC1-7):G01N21/89 |
主分类号 |
G01N21/89 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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