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发明名称 RESIST MATERIAL AND PATTERN FORMATION
摘要
申请公布号 KR100249255(B1) 申请公布日期 2000.06.01
申请号 KR19950006581 申请日期 1995.03.27
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO.,LTD.;WAKO PURE CHEMICAL INDUSTRIES LTD. 发明人 URANO, FUMIYOSHI;NEGISHI, TAKAAKI;KATSUYAMA, AKIKO;ENDO, MASAYUKI
分类号 G03F7/004;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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