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发明名称
Method for forming a capacitor of ferro-electric random access memory
摘要
申请公布号
KR100506872(B1)
申请公布日期
2005.08.04
申请号
KR20020086667
申请日期
2002.12.30
申请人
发明人
分类号
H01L21/3205;H01L27/108;C09G1/02;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/321;H01L21/8246;H01L27/105;(IPC1-7):H01L27/108
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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