| 发明名称 |
MESSVERFAHREN ZUM BESTIMMEN EINES OBERFLÄCHENPROFILS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60302653(T2) |
申请公布日期 |
2006.06.14 |
| 申请号 |
DE20036002653T |
申请日期 |
2003.02.26 |
| 申请人 |
SHELL INTERNATIONALE RESEARCH MAATSCHAPPIJ B.V., DEN HAAG |
发明人 |
CROUZEN, CAROLUS |
| 分类号 |
G01B7/28;G01B7/34;G01B7/00;G01N27/90;H01L25/00 |
主分类号 |
G01B7/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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