适用于酸产生剂的盐及含有该盐之化学增幅型阻剂组成物

摘要

本发明提供一种式(I)之盐：其中X表示伸烷基或经取代之伸烷基；Q1及Q2各自独立地表示氟原子或具有1至6个碳原子之全氟烷基；A+表示有机抗衡离子；以及n表示0或1。本发明也提供一种化学增幅型阻剂组成物，其包含式(I)之盐，以及含有具酸不稳定基团之结构单位之树脂，且该树脂本身不可溶于或难溶于硷性水溶液，但藉由酸的作用变成可溶于硷性水溶液。