形成含碳磊晶矽层的方法

摘要

于第一态样中,提供一种于基材上形成磊晶层堆叠之方法。此方法包含:(1)选择该磊晶层堆叠之一标的碳浓度;(2)于该基材上形成一含碳矽层,并依据所选择的该标的碳浓度,选择该含碳矽层所具有的一初始碳浓度、一厚度以及一沉积时间中之至少一者;以及(3)于蚀刻前,在该含碳矽层上形成一非含碳矽层。亦提供多种其他态样。