发明名称
摘要
申请公布号 JP4414012(B2) 申请公布日期 2010.02.10
申请号 JP19990077166 申请日期 1999.03.23
申请人 发明人
分类号 C30B33/02;H01L21/322;C30B29/06 主分类号 C30B33/02
代理机构 代理人
主权项
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