发明名称 基板处理装置用隔热具之部分
摘要 计的物品是基板处理装置用隔热具,主要是在基板处理装置中,在用来加热处理液或处理气体的配管的周围,连同加热源之带状加热器安装在一起使用的隔热具。 如「表示各部名称之参考图」所示,是以魔鬼毡进行对配管的固定。而且是藉由条状的加热器容器,将条状加热器固定于该隔热具的其中一面(安装于配管时成为内侧的面)的构造。本物品的全长为3950mm,从正视图右端起以150mm的单位形成三个可分别切离使用的单位,剩余的3500mm是将两个魔鬼毡与一个加热器容器当作一个组合,该组合系连续反覆地形成。 图式所揭露之实线部分,为本案主张设计之部分,虚线部分为本案不主张设计之部分。 图式所揭露之一点链线,系界定本案所欲主张之范围,该一点链线本身为本案不主张设计之部分。 图式中省略的部分长度为3060mm。
申请公布号 TWD175849 申请公布日期 2016.05.21
申请号 TW104304615 申请日期 2015.08.24
申请人 日立国际电气股份有限公司 发明人
分类号 15-99 主分类号 15-99
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本