发明名称 Device for measuring the depth profile photoluminescent signal in the thin film semiconductor structures
摘要 Zariadenie pozostáva z podložky (2) so vzorkou (1), oproti ktorej je umiestnený spektrometer (3) so vstupnou optickou sústavou (4) svetelného zdroja (5) s kolimátorom (6) na ožarovanie vzorky (1) umiestneného na otáčavom ramene (7) umožňujúcim meniť uhol, pod ktorým svetelný zväzok zo zdroja dopadá na vzorku (1).
申请公布号 SK952014(A3) 申请公布日期 2016.07.01
申请号 SK20140000095 申请日期 2014.12.29
申请人 BRUNNER ROBERT 发明人 BRUNNER ROBERT
分类号 G01N21/01 主分类号 G01N21/01
代理机构 代理人
主权项
地址