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发明名称
Process for rapidly etching a flatbottomed pit in a germanium wafer
摘要
申请公布号
US3267014(A)
申请公布日期
1966.08.16
申请号
US19630294383
申请日期
1963.07.11
申请人
PHILCO CORPORATION
发明人
SANDERS DONALD P.
分类号
C25F3/12;H01L21/3063
主分类号
C25F3/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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