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发明名称 Epitaxial method for the production of microcircuit components
摘要
申请公布号 US3326729(A) 申请公布日期 1967.06.20
申请号 US19630303229 申请日期 1963.08.20
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人 SIGLER JOHN E.
分类号 H01L21/00;H01L21/82;H01L23/29;H01L27/06;H01L29/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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