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经营范围
发明名称
Low power high frequency discharge plasma generator
摘要
申请公布号
US3417287(A)
申请公布日期
1968.12.17
申请号
US19660582699
申请日期
1966.09.28
申请人
HITACHI, LTD.
发明人
MURAYAMA SEIICHI
分类号
H05H1/46
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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