| 发明名称 |
STABILIZED LOW PRESSURE TRIODE SPUTTERING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3436332(A) |
申请公布日期 |
1969.04.01 |
| 申请号 |
USD3436332 |
申请日期 |
1966.07.12 |
| 申请人 |
NIPPON DENKI KK. |
发明人 |
ZENJIRO ODA;KOICHI SAITO;TATSUO ASAMAKI;TOKIO MORI |
| 分类号 |
H01J37/34;(IPC1-7):C23C15/00 |
主分类号 |
H01J37/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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