| 发明名称 |
MULTI-LEVEL VACUUM PUMPING SYSTEM FOR PLASMA CONTAINMENT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3453469(A) |
申请公布日期 |
1969.07.01 |
| 申请号 |
USD3453469 |
申请日期 |
1966.04.27 |
| 申请人 |
XEROX CORP. |
发明人 |
GORDON L. CANN;ROBERT L. HARDER |
| 分类号 |
H01J41/18;H05H1/34;H05H1/40;(IPC1-7):H01J1/50 |
主分类号 |
H01J41/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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